@アスペクト比データ参照
これまで、凹凸のある複雑な形状の部品や中空部品の内側に、安定したコーティングを施すことは困難でした。
PCVD YHシリーズは、本体構造を見直すことにより、内部ガス圧を従来より高めることができました。内部ガス圧の高圧化によって、部品の凹凸・隙間の隅々に安定した成膜をすることが可能になりました。
用途が多様化・ミクロ化する産業界において、今後の開発に有効に活用できるコーティング技術です。
②膜厚分布データ参照
本体構造の見直し、内部ガス圧の高圧化などの性能のアップによって、加工限界寸法を拡大することができました。これまでなら不可能であった長尺部品の隅々にも安定したコーティングを施すことができます。
※YH-1200での加工の場合。YH-800では900mmまで対応。
従来型のフィラメント式のプラズマ源から、新たに高周波プラズマ源を使用することで、発熱量を従来より60％抑えることが可能になりました。成膜時の発熱量を抑えることで、部品の熱による歪みを抑え、これまで以上に高品質な製品のコーティングを可能にしました。
さらに、発熱温度の低下が従来不可能であった部品への対応も可能にし、コーティングの可能性を拡げることができます。 |
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| 内径部品へのコーティング |
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| 長尺部品へのコーティング |
■加工品作成例
・内径ダイス ・シャフト |
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