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前回までは、セラミック系膜(TiN、TiAlN)の成膜方法の説明をしましたが、
 <過去記事>HCD TiN(ホロカソード ティーアイエヌ)コーティングの話
 <過去記事>ARC TiAlN(アーク ティーアイエーエル ...