今回は自社の長尺製品が処理可能であるＤＬＣ成膜装置の説明です。

自社製作炉であり、処理エリアが「φ１５０＊１０００ｍｍ」、加工膜種は「DLC-EX」と「CFC-H」です。

特徴は真空炉内に円状のループアンテナを ...